渦輪分子泵的啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器和電子器件制造等方面。那么，渦輪分子泵為什么到了一定時間內(nèi)要充氣？
當渦輪分子泵關(guān)閉或運轉(zhuǎn)極慢時，泵將不再有足夠大的壓縮比（泵內(nèi)壓力梯度）來阻止前級側(cè)存在的碳氫化合物通過渦輪葉片向真空室進行返流。這種現(xiàn)象稱作反擴散或分子返流。在靜態(tài)條件下，整個系統(tǒng)的壓力均衡時，在前級管道側(cè)，油的分壓力通常為10-4～10-6Torr（或13.33mPa～133.3μPa）zui后也會波及到泵的入口處。當泵關(guān)閉時，適當?shù)亟o泵內(nèi)充氣是控制油分子返流，保持真空室內(nèi)無碳氫化合物的一種有效的措施。
當停泵后，碳氫化合物返流很快通過泵進入真空室內(nèi)，如果系統(tǒng)仍保持在真空狀態(tài)下，碳氫化合物將會粘在清潔的葉片和真空室的表面上。在隨后再運轉(zhuǎn)該系統(tǒng)時，將極難抽除粘著的碳氫化合物。另一方面，在渦輪分子泵停止運轉(zhuǎn)時，如果給泵充入干燥氮氣或干燥空氣，則該干燥氣體將給暴露的表面提供一層氣體保護層，而且在系統(tǒng)充氣后，返流的碳氫化合物由于與充入的氣體混合起來，從而它的粘著能力很弱，在混合氣體中碳氫化合物所占比例極小，在下一次抽空時也很快就能被抽走。